Verdrahtungssubstrat und Prozess zu seiner Herstellung

摘要

Signalverdrahtungen (22, 23) werden auf einem Paar von Substraten (20, 21) ausgebildet, und die Substrate werden durch eine Isolationsschicht (24) miteinander verbunden, so daß die Signalverdrahtungen (22, 23) parallel angeordnet werden und einander zugewandt sind. Die Oberflächen der sich überlappenden Flächen der Signalverdrahtungen (22, 23) werden geglättet, und die Rauhigkeit derselben Oberflächen ist kleiner als die Skintiefe delta¶s¶ aufgrund des Skineffekts, und zwar vorzugsweise kleiner als ein Drittel, um die Zunahme des elektrischen Widerstands aufgrund des Skineffekts möglichst gering zu halten.