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发明名称 METHOD FOR PRECISE MOLDING AND ALIGNMENT OF STRUCTURES ON A SUBSTRATE USING A STRETCHABLE MOLD
摘要
申请公布号 EP1147536(A1) 申请公布日期 2001.10.24
申请号 EP19990916249 申请日期 1999.03.31
申请人 MINNESOTA MINING AND MANUFACTURING COMPANY 发明人 CHIU, RAYMOND, C.;HOOPMAN, TIMOTHY, L.;HUMPAL, PAUL, E.;KING, VINCENT, W.;DILLON, KENNETH, R.
分类号 H01J9/02;B29C33/30;B29C33/40;B29C33/42;H01J9/24;H01J11/02;H01L21/027;(IPC1-7):H01J9/24 主分类号 H01J9/02
代理机构 代理人
主权项
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