| 摘要 |
본 발명 포트내의 가스치환이 용이하게 가능하고, 간단한 부재의 부가만으로 가스치환이 가능한 기계식 인터페이스장치를 제공함을 목적으로 한다. 본 발명 구성은 본체케이스(1)에 설치된 피처리물의 반입, 반출용 포오트(4)을 형성하는 포오트플레이트(3)위에 기밀히 적재, 배치되고, 상기 포오트(4)를 덮어씌운 개구플렌지가 달린 포트(10), 이 포트의 개구(11)를 기밀히 폐쇄 가능한 포트문(21), 상기본체케이스(1)내에 승강가능토록 지지되고 최상승시에 상기 포오트플레이트(3)에 계합하여 상기포오트(4)를 폐쇄하는 포오트 문(31)을 구비하며, 이 포오트문(31)이 상기 포트문(21)을 상기 포트내에서 본체 케이스(1)로 또 그 반대로 반송하는 기계식 인터페이스장치에 있어서, 상기 포오트문(31)이 소정높이 승강구동가능한 통상 공간을 내부에 구획함과 아울러 상기 포모트문의 아래면에 기밀히 계합 가능한 하접합주변부(33A)와 상기 포오트 플레이트의 아래면에 기밀히 계합 가능한 상접합주변부(33B)을 가지는 가동 포오트스카트(33), 상기 포오트문(31) 또는 당해 포포트문과 함께 승강하는 부재에 배설되어 상기 포오트 스카트(33)를 상기 포오트플레이트(3)로 행하여 부세하는 부세장치(37)을 구비하며, 상기 포오트 플레이트(3)는 내주면에 개구하는 배기구(3B)와 이 내주면에 개구함과 함께 N가스원에 접속되는 급기구(3A)를 가진다. 상기 포트(10)내로 N가스주입에 있어 상기 포오트문(31)이 상기 하접합주변부(33A)에 기밀히 계합될때까지 하강 구동되는 것을 특징으로하는 기계식 인터페이스장치. |
