发明名称 Device for combining housings or mountings for optical elements
摘要 <p>Eine Vorrichtung zum Verbinden von Gehäusen oder Fassungen (4) für optische Elemente (13), insbesondere für Linsen in Objektiven (12) für Halbleiter-Projektionsbelichtungsanlagen, ist mit Elektro-Permanentmagneten (1) versehen, wobei die Elektro-Permanentmagnete durch das Magnetfeld einer mit einer Ansteuereinrichtung (8) verbundenen Spule (5) derart aufmagnetisiert sind, daß die Gehäuse oder Fassungen (4) durch Magnetkräfte miteinander verbunden sind. &lt;IMAGE&gt;</p>
申请公布号 EP1148368(A2) 申请公布日期 2001.10.24
申请号 EP20010102862 申请日期 2001.02.14
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 MOENNIG, THOMAS
分类号 G02B7/02;G02B27/62;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B7/02;G02B7/04 主分类号 G02B7/02
代理机构 代理人
主权项
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