发明名称 |
METHOD FOR DEPOSITING A POLYMER LAYER AND THE USE THEREOF |
摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und die Verwendung dieses Verfahrens zum Abscheiden einer Polymerschicht unter Einsatz einer filamentierten Gasentladung, bei der der Entladung ein Trägergas und eine organische Verbindung zugeführt wird, wobei die organische Verbindung polymerisierbar ist und sie eine Kohlenstoff-Doppelbindung und zusätzlich eine sauerstoff-, stickstoff-, schwefel-, oder phosphorhaltige funktionelle Gruppe oder eine Trifluormethylgruppe aufweist.
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申请公布号 |
WO0176773(A2) |
申请公布日期 |
2001.10.18 |
申请号 |
WO2001EP04108 |
申请日期 |
2001.04.10 |
申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;THYEN, RUDOLF;KLAEKE, NIKLAS;HOEPFNER, KATRIN;KLAGES, CLAUS-PETER |
发明人 |
THYEN, RUDOLF;KLAEKE, NIKLAS;HOEPFNER, KATRIN;KLAGES, CLAUS-PETER |
分类号 |
B05D7/24;(IPC1-7):B05D7/24 |
主分类号 |
B05D7/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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