| 摘要 |
<p>본 발명은 습식식각용 팬스구조에 관한 것으로, 종래 기술에서는 노드팬스가 구조적으로 취약하여 쓰러짐이 발생하고, 후속공정에서 이 부분이 파티클 소스(Particle Source)역할을 하여 제품 특성에 치명적인 영향을 끼치며, 이중으로 형성된 노드팬스가 넘어지면서 그 상단부분의 거리가 벌어지면 후속공정에서 보이드(Void)가 형성되어 결함(defect)이 발생하는 문제점이 있었다. 따라서 본 발명은 일정한 간격을 이격하도록 균일하게 배치한 커패시터노드와; 상기 배치한 커패시터노드의 외곽을 둘러싸는 형상으로 일정한 간격을 이격하도록 배치한 더미패턴과; 상기 더미패턴간 이격부분을 이용하여 상기 더미패턴 및 커패시터노드의 외곽을 절곡을 이루면서 둘러싸도록 배치한 노드팬스로 구성하는 습식식각용 팬스구조를 통해 구조적으로 강한 노드팬스를 얻을 수 있어 공정 진행시 노드팬스의 쓰러짐 발생을 방지할 수 있는 효과가 있다.</p> |
