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经营范围
发明名称
Optical position calibration system
摘要
申请公布号
EP0747933(B1)
申请公布日期
2001.10.17
申请号
EP19960304063
申请日期
1996.06.04
申请人
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES INC.
发明人
LANDAU, RICHARD F.;SCHULTHEIS, EDWARD D.
分类号
G01B11/03;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00
主分类号
G01B11/03
代理机构
代理人
主权项
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