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发明名称 Thermal reactor for semiconductor wafer processing operations
摘要
申请公布号 EP0613173(B1) 申请公布日期 2001.10.17
申请号 EP19940103000 申请日期 1994.02.28
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 PERLOV, ILYA
分类号 C23C16/44;C30B25/12;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/324;H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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