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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR FEEDING PRECURSORS INTO A CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION CHAMBER
摘要
申请公布号 EP0730671(B1) 申请公布日期 2001.10.17
申请号 EP19940922896 申请日期 1994.07.08
申请人 CENTRE NATIONAL DE<BR>LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) 发明人 SENATEUR, JEAN-PIERRE;MADAR, ROLAND;WEISS, FRANCOIS;THOMAS, OLIVIER;ABRUTIS, ADULFAS
分类号 B01D1/18;C23C16/448;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 B01D1/18
代理机构 代理人
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