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发明名称 IMPROVED CORROSION RESISTANT COATING
摘要
申请公布号 EP1144722(A1) 申请公布日期 2001.10.17
申请号 EP19990971471 申请日期 1999.10.29
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 BANG, WON;CHEN, CHEN-AN;VENKATARAMAN, SHANKAR;BHATNAGAR, AJAY
分类号 C23C14/06;C23C14/58;C23C16/44;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
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