| 发明名称 |
Method of making a target |
| 摘要 |
Described is a titanium sputtering target to provide improved step coverage and a method of making same.
|
| 申请公布号 |
US6302977(B1) |
申请公布日期 |
2001.10.16 |
| 申请号 |
US19990365645 |
申请日期 |
1999.08.02 |
| 申请人 |
JOHNSON MATTHEY ELECTRONICS, INC. |
发明人 |
LIU YINSHI |
| 分类号 |
C22C14/00;C22F1/00;C22F1/18;C23C14/34;(IPC1-7):C22F1/18 |
主分类号 |
C22C14/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
