SUSPENSION ACUOSA ESPESA PARA LA PULIMENTACION QUIMICA-MECANICA DE CAPAS METALICAS.
摘要
UN MORTERO PARA SU USO EN EL PULIDO QUIMICO-MECANICO DE UNA CAPA DE METAL QUE COMPRENDE PARTICULAS DE OXIDO DE METAL FINO DE ALTA PUREZA UNIFORMEMENTE DISPERSADAS EN UN MEDIO ACUOSO ESTABLE.
申请公布号
ES2159495(T1)
申请公布日期
2001.10.16
申请号
ES19950306994T
申请日期
1995.10.03
申请人
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
发明人
FLUCH, DAVID J.;HUNG, CHENG-HUNG;LUCARELLI, MICHAEL A.;NEVILLE, MATTHEW;SCHERBER, DEBRA LYNN
