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发明名称 HERSTELLUNGSVERFAHREN FUR EINE HALBLEITERSPEICHERANORDNUNG
摘要
申请公布号 DE59310206(D1) 申请公布日期 2001.10.11
申请号 DE19935010206 申请日期 1993.06.24
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 AUER, STEFAN;KOHLHASE, ARMIN;MELZNER, HANNO
分类号 H01L27/04;H01L21/768;H01L21/82;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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