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发明名称 Optisches Nahfeld- und Atomkraft-Rastermikroskop
摘要
申请公布号 DE69521355(T2) 申请公布日期 2001.10.11
申请号 DE1995621355T 申请日期 1995.03.23
申请人 SEIKO INSTRUMENTS INC., CHIBA 发明人 CHIBA, NORIO;MURAMATSU, HIROSHI
分类号 G01B11/30;G01N37/00;G01Q60/06;G01Q60/18;G01Q60/24;G01Q60/32;G02B21/00;G03F7/20;(IPC1-7):G02B21/00;G01B7/34 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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