发明名称 SEMICONDUCTOR FABRICATION PROCESSES
摘要
申请公布号 EP1142009(A1) 申请公布日期 2001.10.10
申请号 EP20000901396 申请日期 2000.01.05
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 WELING, MILIND
分类号 H01L21/3205;H01L21/304;H01L21/321;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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