发明名称 |
SEMICONDUCTOR FABRICATION PROCESSES |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1142009(A1) |
申请公布日期 |
2001.10.10 |
申请号 |
EP20000901396 |
申请日期 |
2000.01.05 |
申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. |
发明人 |
WELING, MILIND |
分类号 |
H01L21/3205;H01L21/304;H01L21/321;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/321 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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