微机电系统光学交叉连接开关

摘要

一种微机电装置，它能将光信号从一个输入光纤转换至两个或多个输出光纤中的一个。在一个实施例中，MEMS光学交叉开关包括一个第一微电子基片，该基片具有位于其表面上的一个弹起反射镜，以及一个类似可变受控磁场源这样的旋转磁场源。该旋转磁场源能可靠地将弹起反射镜从非反射状态驱动至反射状态。此外，本发明具体实施于具有一个第一微电子基片的实施例中，该基片具有位于其表面上的一个弹起反射镜以及位于相对于第一基片的固定位置关联中的一个定位结构。

主权项

1.一种MEMS光学交叉连接开关，它包括一个具有第一表面的第一微电子基片(12)，其特征为：一个设置于第一表面(12)上的弹起反射镜(14)；和一个设置于贴近第一微电子基片处的适于驱动弹起反射镜的旋转磁场源(40)。