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发明名称 BPSG REFLOW METHOD
摘要
申请公布号 EP1142006(A1) 申请公布日期 2001.10.10
申请号 EP19990959078 申请日期 1999.11.22
申请人 APPLIED MATERIALS, INC.;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES 发明人 XIA, LI-QUN;CONTI, RICHARD A.;GALIANO, MARIA;YIEH, ELLIE
分类号 H01L21/768;H01L21/3105;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/310 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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