在衬底加工系统中减少衬底污染的方法与装置

摘要

该装置有一种衬底支架、一种包围所述衬底支架的气体引导护罩，和一种垂直布置在所述衬底支架和气体引导护罩上方的遮蔽环，用于挡住所述衬底。气体引导护罩和衬底支架确定一种环形通道，提供边缘清除气体。边缘清除气体在放置在衬底支架上的衬底边缘施加一种力，使其在衬底支架上升起并且靠着遮蔽环。遮蔽环还具有多个导管，从其上表面向其侧壁延伸，为边缘清除气体提供排出路径，并且阻止工艺气体在背面之下和衬底边缘周围流动。该方法包括下列步骤：在衬底支架上提供衬底，向第一组风口施加第一种气流，使衬底在衬底支架上升起，使衬底在衬底支架上对中，向第二组风口提供第二种气流，建立并保持衬底的热控制。

主权项

1．在衬底加工系统中减少衬底污染的装置，包括：衬底支架；包围所述衬底支架的气体引导护罩；和垂直布置在衬底支架和气体引导护罩上方的遮蔽环。