| 摘要 |
<p>Cette invention concerne une nacelle pour plaquettes de semi-conducteur comprenant un capteur de mesure (305) disposé dans un logement (109) tourné vers la surface de la plaquette destinée à venir se loger dans la nacelle. La nacelle peut être reliée à un orifice de chargement classique d'un outil de fabrication de plaquettes de semi-conducteur. Ainsi, il est possible de recueillir des données de mesure immédiatement après traitement de la plaquette, sans transport de celle-ci. Cette invention rend possible le développement rentable de technologies de métrologie intégrées à l'outillage.</p> |
