| 摘要 |
<p>L'invention concerne des matériaux appropriés à la fabrication de moniteurs optiques comprenant des matériaux polycristallins et microcristallins amorphes. Il est possible de réaliser des matériaux pour photodétecteur semi-transparent à base de silicium ou d'alliages de silicium et de germanium. Il est également possible de réaliser des conducteurs de liaison et de contact avec le photodétecteur à partir de différents oxydes transparents, y compris l'oxyde de zinc, l'oxyde d'étain et l'oxyde d'indium et d'étain. Les structures de moniteur optique reposant sur l'utilisation de diodes PIN tirent parti avantageusement de ce type de matériau. Un éventail de structures de contact, de ligne de sortie, de substrat et d'interconnexion permettent d'optimiser les moniteurs aux fins d'intégration à diverses sources lumineuses, y compris les réseaux de lasers à cavité verticale et à émission par la surface (VCSEL). Les structures intégrées complètes comprennent une source lumineuse, un moniteur optique et un boîtier ou un guide d'ondes dans lequel la lumière est dirigée.</p> |
