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发明名称 FABRICATION OF GALLIUM NITRIDE LAYERS BY LATERAL GROWTH
摘要
申请公布号 EP1138063(A1) 申请公布日期 2001.10.04
申请号 EP19990967152 申请日期 1999.11.23
申请人 NORTH CAROLINA STATE UNIVERSITY 发明人 LINTHICUM, KEVIN, J.;GEHRKE, THOMAS;THOMSOM, DARREN, B.;CARLSON, ERIC, P.;RAJAGOPAL, PRADEEP;DAVIS, ROBERT, F.
分类号 C30B29/38;C30B25/02;H01L21/20;H01L21/205;H01L33/00;H01S5/323;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
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