发明名称 Apparatus and method for coating substrates
摘要
申请公布号 GB0119588(D0) 申请公布日期 2001.10.03
申请号 GB20010019588 申请日期 2001.08.10
申请人 RTC SYSTEMS LTD 发明人
分类号 C23C14/24;C23C14/04;C23C14/30;C23C14/34;C23C14/50;C23C14/54;C23C16/40;H01J37/305 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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