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Eine Vakuumlagerstruktur umfaßt eine Kombination eines planaren Gaslagers mit einer Dichtung für ein differentiell gepumptes Vakuum. Die Oberflächen der Lagerfläche und der Vakuumdichtung bestehen aus einem porösen Material, das in einen ersten äußeren Bereich (120), durch den Lagergas sickern kann, um eine Abstützung vorzusehen, und einen inneren, zweiten Bereich (121), der die Vakuumdichtung vorsieht, aufgeteilt ist. Eine Austrittsnut (97) trennt die zwei Bereiche, so daß Lagergas in die Atmosphäre strömen kann. Die resultierende Struktur kann mit einer niedrigeren Flughöhe arbeiten, um die Belastung auf die Vakuumdichtung zu verringern. Die Struktur ist für Bewegungsdurchführungen in Vakuumprozesse, wie z. B. Ionenimplantation, besonders nützlich.
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