| 摘要 |
<p>본 발명은 방전 개시 압력 이하에서 안정된 스퍼터링을 실현함으로써 스퍼터링용 불활성 가스와의 충돌에 의한 스퍼터링 입자의 산란을 적게 하고, 이로 인하여 스텝 커버리지를 개선하고, 스퍼터링 막의 치밀성을 개선할 수 있는 스퍼터링용 전원 장치를 제공한다. 본 발명에 의하면, 스퍼터링용 직류 전원(A)과, 이 직류 전원에 접속되는 정전류 회로(B)와, 이 정전류 회로(B)에 접속되는 스퍼터링 소스(21)와, 정전류 회로(B)로부터 출력되는 전류를 정전류가 되도록 제어하는 제어부(11)를 구비하는 스퍼터링용 전원 장치가 제공된다.</p> |
