Integrierter Optokoppler und Verfahren zu seiner Herstellung

摘要

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen integrierten Optokoppler und ein Verfahren zu seiner Herstellung vorzuschlagen, bei denen eine direkte Integration in Silizium-Technologie mit geringem Aufwand erfolgen kann, wobei Einschränkungen bei der Anwendung des Optokopplers weitgehend vermieden werden sollen. DOLLAR A Erfindungsgemäß wird die Aufgabe für den Optokoppler dadurch gelöst, dass das Sendeelement (1) aus einer nanoclusterhaltigen dielektrischen Schicht (5) besteht und dass Empfangs- und Sendeelement (1; 2) aus einem monolithischen Block bestehen. Dabei können das Empfangs- und Sendeelement (1; 2) vertikal übereinander oder lateral nebeneinander angeordnet sein. Die erfindungsgemäße Lösung für das Verfahren beinhaltet, dass eine nanoclusterhaltige dielektrische Schicht durch Ionenstrahlsynthese erzeugt wird. Es ist auch möglich, dass eine nanoclusterhaltige SiO¶x¶-Schicht durch plasmagestützte Verfahren unter Variation der Stöchiometrie erzeugt und danach ausgeheilt wird.