FILM OF ABC TRIBLOCK COPOLYMER WHOSE CYLINDRICAL STRUCTURE IS COATED VERTICALLY AND METHOD THEREOF
摘要
<p>본 발명은 ABC 삼중블록 공중합체를 적절한 조건에서 실리콘 또는 산화실리콘 등의 기판 위에 박막으로 형성하여 상기 기판에 대해 수직이 되도록 상기 공중합체의 실린더형 구조를 형성하는 방법을 제공하기 위한 것으로, ABC 삼중 블록 공중합체를 하기의 조건으로 기판 위에 코팅하여 항상 수직적 구조를 갖도록 하는 것이다.</p>
