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发明名称 Halbleitervorrichtung und Verfahren zur Herstellung derselben
摘要
申请公布号 DE19517002(C2) 申请公布日期 2001.09.13
申请号 DE19951017002 申请日期 1995.05.09
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 ODA, HIDEKAZU;UENO, SHUICHI;YAMAGUCHI, TAKEHISA
分类号 H01L29/78;H01L21/265;H01L21/336;H01L29/10;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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