METAL-INSULATOR-METAL CAPACITOR AND A METHOD FOR PRODUCING SAME
摘要
<p>Ein Kondensatorstapel (12) in einer Schichtstruktur eines integrierten Bauelements weist mit Ausnahme einer dielektrischen Zwischenschicht (5) die gleiche Schichtfolge wie eine benachbarte Leiterbahn (13) auf. Dadurch wird die Herstellung von Vias (16) wesentlich erleichtert.</p>
申请公布号
WO0167522(A1)
申请公布日期
2001.09.13
申请号
WO2001EP02511
申请日期
2001.03.06
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG;LACHNER, RUDOLF;SCHWERD, MARKUS;SCHRENK, MICHAEL
