| 发明名称 |
Verfahren zum Herstellen dünner Schichten aus metallischen und/oder halbleitenden Stoffen mittels einer chemischen Transportreaktion |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT253568(B) |
申请公布日期 |
1967.04.10 |
| 申请号 |
AT19650001440 |
申请日期 |
1965.02.18 |
| 申请人 |
SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C16/08;C23C16/26;C23C16/44;C23C16/448;C30B31/02 |
主分类号 |
C23C16/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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