发明名称 SILICON ON INSULATOR STRUCTURE FROM LOW DEFECT DENSITY SINGLE CRYSTAL SILICON
摘要
申请公布号 KR20010085752(A) 申请公布日期 2001.09.07
申请号 KR1020017002717 申请日期 2001.03.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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