非轴对称非球面镜的磨削加工方法

摘要

一种非轴对称非球面镜的磨削加工方法,具备:具有金属结合剂砂轮2的电解在线修整装置10,旋转式工具12,在机上进行测量的形状测量装置14以及沿X、Y、Z三轴方向对砂轮进行数值控制的数值控制装置16;通过数值控制装置16使砂轮向三轴方向移动,重复进行修整、磨削加工和机上测量。因此,能够在短时间内高精地制作具有高形状精度和优良的表面粗度,可正确地反射或吸收光的非轴对称非球面镜。

主权项

1．一种非轴对称非球面镜的磨削加工方法，其特征在于，具备：由以轴心Y为中心旋转、在其外缘上具有半径为R的圆弧面(2a)的圆板状金属结合剂砂轮(2)，与该砂轮隔以间隔、相对向的电极(4)，将导电性液体流入砂轮和电极之间的喷嘴(6)以及在砂轮和电极之间外加电压的外加装置(8)构成，通过电解对砂轮进行修整，同时对被加工物(1)进行磨削加工的电解在线修整装置(10)；以与上述旋转轴Y垂直的X轴为中心旋转、对上述圆弧面进行精修的旋转式工具(12)，在机上测量上述砂轮的圆弧面形状和被加工物(1)的加工面形状的形状测量装置(14)以及沿X、Y、Z三轴方向对上述砂轮进行数值控制的数值控制装置(16)；通过数值控制装置(16)使砂轮向三轴方向移动，重复进行精修、磨削加工和机上测量。