发明名称 Method of forming superconductive niobium films
摘要
申请公布号 US3325307(A) 申请公布日期 1967.06.13
申请号 US19640404558 申请日期 1964.10.08
申请人 GENERAL ELECTRIC COMPANY 发明人 NEUGEBAUER CONSTANTINE A.;III JOHN R. RAIRDEN
分类号 C23C14/02;H01L39/00;H01L39/24 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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