发明名称 |
Method of forming superconductive niobium films |
摘要 |
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申请公布号 |
US3325307(A) |
申请公布日期 |
1967.06.13 |
申请号 |
US19640404558 |
申请日期 |
1964.10.08 |
申请人 |
GENERAL ELECTRIC COMPANY |
发明人 |
NEUGEBAUER CONSTANTINE A.;III JOHN R. RAIRDEN |
分类号 |
C23C14/02;H01L39/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C23C14/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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