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发明名称 DUAL CHANNEL GAS DISTRIBUTION PLATE
摘要
申请公布号 EP1129234(A1) 申请公布日期 2001.09.05
申请号 EP19990928470 申请日期 1999.06.08
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 MAJEWSKI, ROBERT;KAO, YEH-JEN;WANG, YEN, KUN
分类号 C23C16/44;C23C16/455;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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