| 发明名称 |
A negative type resist composition |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2349479(B) |
申请公布日期 |
2001.09.05 |
| 申请号 |
GB20000010477 |
申请日期 |
2000.04.28 |
| 申请人 |
* SUMITOMO CHEMICAL COMPANY LIMITED |
发明人 |
MASUMI * SUETSUGU;TAKEHIRO * KUSUMOTO;NAOKI * TAKEYAMA;MASANORI * SHINADA |
| 分类号 |
G03F7/32;C08F8/30;C08F12/26;C08F293/00;C08F297/02;C08L53/00;G03F7/004;G03F7/038;(IPC1-7):G03F7/004 |
主分类号 |
G03F7/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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