发明名称
摘要
申请公布号 NL6700335(A) 申请公布日期 1967.07.11
申请号 NL19670000335 申请日期 1967.01.10
申请人 发明人 KLEIN THOMAS;NICHOLAS KEITH HARLOW
分类号 H01L21/3105;H01L21/316 主分类号 H01L21/3105
代理机构 代理人
主权项
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