| 主权项 |
1.一种对光学波导抽拉高温炉底部形成密封之装置,该装置包含:一个组件制造以及排列成与抽拉高温炉底部相匹配以形成密封;以及渗漏感测系统,其与组件连通以测定密封是否渗漏。2.依据申请专利范围第1项之装置,其中组件包含具有上侧表面之盖板以及其中盖板顶部表面或抽拉高温炉底部包含第一环状垫圈,以及第二环状垫圈,其径向地与第一环状垫圈相隔。3.依据申请专利范围第2项之装置,其中组件更进一步包含支臂连接至盖板以移动该盖板进入以及离开与抽拉高温炉底部接触。4.依据申请专利范围第3项之装置,其中组件更进一步包含水准构件位于该支臂与盖板之间,该水准构件连接至该支臂以及可旋转地连接至该盖板以允许盖板自动地对准抽拉高温炉底部。5.依据申请专利范围第1项之装置,其中渗漏感测系统包含:惰性气体供应源,其与组件连通以供应惰性气体;流量计,位于惰性气体供应源下游侧以感测惰性气体流量以及传送相对于流量之讯号;以及计算机,其连接至流量计之接收讯号,该计算机可程式化以分析讯号以测定出密封是否妥当。6.一种密封光学波导抽拉高温炉底部之装置,其包含:盖板;以及第一以及第二垫圈位于抽拉高温炉底部或盖板,使得第一环状垫圈与第二环状垫圈相隔,以及使得第一及第二垫圈界定出通过其中之通道,以及其中盖板可移动与抽拉高温炉底部衔接以在该处形成密封。7.依据申请专利范围第6项之装置,其中盖板包含内凹表面。8.依据申请专利范围第6项之装置,其中更进一步包含支臂以移动该盖板以及水准构件以自支地将盖板置于高温炉底部。9.依据申请专利范围第6项之装置,其中更进一步包含气体渗漏系统与通道流体地连通。10.一种密封光学波导抽拉高温炉底部之方法,该方法包含下列步骤:将盖板置于抽拉高温炉底部上以在其间形成密封;传送惰性气体气流于盖板与抽拉高温炉底部之间;以及感测惰性气体,其方式足以测定出密封是否为气密性。11.依据申请专利范围第10项之方法,其中更进一步包含显示密封状态之步骤。12.依据申请专利范围第10项之方法,其中传送惰性气体气流步骤更进一步包含将惰性气体加入至盖板上第一垫圈与第二垫圈间所界定出之通道。13.一种产生密封之方法,其将防止空气吸入光学波导抽拉高温炉内,该方法包含下列步骤:紧压至少两个径向相隔外围垫圈于抽拉高温炉底部与底部开口组件之间因而界定出环状通道于抽拉高温炉底部,底部开口组件,以及至少两个垫圈之间;传送惰性气体进入通道,其数量足以防止空气由至少两个紧压垫圈漏出以及进入抽拉高温炉底部;利用量测装置监测惰性气体以在限定时间内决定出惰性气体是否减小至目标値;以及提供密封品质之回授讯号,其方式将使得操作员或计算机控制系统能够决定出是否形成适当之密封。14.依据申请专利范围第13项之方法,其中更进一步包含假如密封形成并不令人满意将自动地由抽拉高温炉底部缩回底部开口组件之步骤。15.依据申请专利范围第13项之方法,其中传送步骤包含以预先决定之速率传送氩气。16.一种验证光学波导抽拉高温炉底部密封之方法,其包含下列步骤:移动底部开口组件与抽拉高温炉底部衔接;传送惰性气体于抽拉高温炉底部与底部开口组件之间;利用装置监测惰性气体以得到惰性气体读数;以及将惰性气体读数与低限値作比较;以及将比较步骤结果传送讯号至操作员。图式简单说明:第一图为底部开口组件优先实施例之透射图;第二图为底部开口组件沿着第一图直线2-2展开之剖面图;第三图为本发明密封抽拉高温炉底部装置之优先实施例示意图;以及第四图为第一图底部开口组件侧视高程图,其显示位于抽拉高温炉底部处。 |
