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发明名称
摘要
申请公布号 JP3079839(U) 申请公布日期 2001.08.31
申请号 JP20010000939U 申请日期 2001.02.26
申请人 发明人
分类号 F24F7/06;B01L1/04;F25D13/00;F25D17/02;H01L21/02;H01L21/66;(IPC1-7):F25D17/02 主分类号 F24F7/06
代理机构 代理人
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