| 发明名称 |
Method of manufacturing a semiconductor device |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0712152(B1) |
申请公布日期 |
2001.08.29 |
| 申请号 |
EP19950307956 |
申请日期 |
1995.11.07 |
| 申请人 |
FUJI ELECTRIC CO. LTD. |
发明人 |
FUJIHIRA, TATSUHIKO;NISHIMURA, TAKEYOSHI;MOMOTA, SEIJI |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/306;H01L21/316;H01L21/336;H01L21/8238;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/266;H01L21/823 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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