| 发明名称 |
Multi-zone gas flow control in a process chamber |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0821084(B1) |
申请公布日期 |
2001.08.22 |
| 申请号 |
EP19970305255 |
申请日期 |
1997.07.15 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
BALLANCE, DAVID S.;BIERMAN, BENJAMIN;TIETZ, JAMES V. |
| 分类号 |
B01J4/00;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/48;C23F4/00;C30B25/14;C30B31/16;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C30B25/14 |
主分类号 |
B01J4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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