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发明名称 Method of fabricating a word line
摘要
申请公布号 GB2319658(B) 申请公布日期 2001.08.22
申请号 GB19960024435 申请日期 1996.11.25
申请人 * UNITED MICROELECTRONICS, CORP. 发明人 DER-YUAN * WU;YI-CHUNG * SHENG
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/768;H01L21/8242;H01L23/52;H01L27/108;H01L29/78;(IPC1-7):H01L23/52 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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