发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING A COATED SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0712942(B1) |
申请公布日期 |
2001.08.22 |
申请号 |
EP19950920217 |
申请日期 |
1995.05.31 |
申请人 |
TORAY INDUSTRIES, INC. |
发明人 |
NOMURA, FUMIYASU;SAITO, TAKESHI |
分类号 |
C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/54;C23C14/56 |
主分类号 |
C23C14/54 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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