发明名称 A filament for an ion source
摘要
申请公布号 GB2359414(A) 申请公布日期 2001.08.22
申请号 GB20010009679 申请日期 2000.04.28
申请人 * KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 ATSUSHI * MURAKOSHI;KYOICHI * SUGURO;KATSUYA * OKUMURA
分类号 H01J27/02;H01J27/08;(IPC1-7):H01J37/08;H01J1/14 主分类号 H01J27/02
代理机构 代理人
主权项
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