| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR PROCESSING CHAMBER CALIBRATION TOOL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1125319(A2) |
申请公布日期 |
2001.08.22 |
| 申请号 |
EP19990971583 |
申请日期 |
1999.10.29 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
LI, SHIN-HUNG;GREEN, TIMOTHY |
| 分类号 |
H01L21/68;C23C16/00;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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