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发明名称 Photoresist composition
摘要
申请公布号 EP0800116(B1) 申请公布日期 2001.08.22
申请号 EP19970105397 申请日期 1997.04.01
申请人 MITSUBISHI CHEMICAL CORPORATION 发明人 NISHI, MINEO;NAKANO, KOJI;KUSUMOTO, TADASHI;KAWASE, YASUHIRO
分类号 G03F7/022;(IPC1-7):G03F7/022 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
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