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发明名称 METHOD FOR IN-SITU, POST DEPOSITION SURFACE PASSIVATION OF A CHEMICAL VAPOR DEPOSITED FILM
摘要
申请公布号 KR20010080370(A) 申请公布日期 2001.08.22
申请号 KR1020017005460 申请日期 2001.04.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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