| 发明名称 |
PROCESS FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE PRODUCED THEREBY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG82695(A1) |
申请公布日期 |
2001.08.21 |
| 申请号 |
SG20000002903 |
申请日期 |
2000.05.27 |
| 申请人 |
HITACHI, LTD. |
发明人 |
NORIO ISHITSUKA;HIDEO MIURA;SHUJI IKEDA;YASUKO YOSHIDA;NORIO SUZUKI;KOZO WATANABE;KENJI KANAMITSU |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/316;H01L21/762;H01L29/06;(IPC1-7):H01L21/762 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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