| 发明名称 |
ALKYLDIONE PEROXIDES AS CLEANING SOLUTIONS FOR WAFER FABS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG82697(A1) |
申请公布日期 |
2001.08.21 |
| 申请号 |
SG20000002951 |
申请日期 |
2000.05.31 |
| 申请人 |
CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD |
发明人 |
ZHOU SHENG MEI;SUBHASH GUPTA;SIMON CHOOI;PAUL HO |
| 分类号 |
C11D3/20;C11D3/39;C23G5/032;(IPC1-7):B08B3/04 |
主分类号 |
C11D3/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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