| 摘要 |
<p>Die Erfindung geht aus von einem Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements (100), das mindestens einen Hohlraum (110) und ein zumindest teilweise in dem Hohlraum (110) vorgesehenes Funktionselement (12) und/oder eine zumindest teilweise darin vorgesehene Funktionsschicht (13a, 13b, 13c) aufweist, und einem verfahrensgemäß hergestellten mikromechanischen Bauelement (100) nach der Gattung des betreffenden unabhängigen Patentanspruchs. Zur Reduzierung der Herstellungskosten, wird das Funktionselement (12) und/oder die Funktionsschicht (13a, 13b, 13c) zumindest in einem Bereich, der an eine erste Opferschicht (52) angrenzt, die temporär den Raum des nachfolgend in ein oder mehreren Ätzschritten gebildeten Hohlraums (22) einnimmt, mit einer ersten Schutzschicht (41; 71) versehen (fig.4; fig.7), wobei das Material der ersten Schutzschicht (41) derart gewählt wird, daß mindestens ein die erste Opferschicht (52) ätzendes bzw. auflösendes Ätzverfahren und/oder Ätzmedium die erste Schutzschicht (41; 71) weitgehend nicht oder lediglich mit einer in bezug auf die erste Opferschicht (52) verminderten Ätzrate angreift.</p> |
