| 摘要 |
<p>Ein Verfahren zur Herstellung eines Gegenstandes (40) mit einem ersten Oberflächenbereich und einem zweiten Oberflächenbereich unterschiedlicher Reibungszahl unter Anwendung einer zur Durchführung von PVD-Verfahren geeigneten Behandlungskammer vorzugsweise mit einem drehbaren Träger für den Gegenstand bzw. mehreren solcher Gegenstände, wobei mindestens zwei PVD-Beschichtungsvorgänge (22,26) in der Behandlungskammer gleichzeitig durchgeführt werden, wobei der erste PVD-Beschichtungsvorgang mit einem vergleichsweise gerichteten Dampffluß von einem Target oder von mehreren Targets durchgeführt wird, das bzw. die aus einem oder mehreren der Elemente B, Si, Ti, V, Cr, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta und W, Karbiden der genannten Elemente und Kohlenstoff besteht bzw. bestehen, und der zweite PVD-Beschichtungsvorgang (60) mit einem vergleichsweise weniger gerichteten oder nicht gerichteten Dampffluß aus Kohlenstoff durchgeführt wird. <IMAGE></p> |
