| 发明名称 |
Coating of inside of vacuum chambers |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0859070(B1) |
申请公布日期 |
2001.08.08 |
| 申请号 |
EP19980300867 |
申请日期 |
1998.02.05 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
SUN, BINGXI;HASHIM, IMRAN |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C14/14;C23C14/24;C23C14/34;C23C14/56;C23C16/44;H01J37/32;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/56 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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